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忻州IPH半導(dǎo)體嚴(yán)苛系列

忻州IPH半導(dǎo)體嚴(yán)苛系列

  • 所屬分類:忻州真空泵
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  • 發(fā)布時(shí)間:2021-11-08 20:15:53
  • 產(chǎn)品概述

IPH半導(dǎo)體中度嚴(yán)苛系列


用途:

Etch,Implant,HDP-CVD,SACVD,MOCVD,PECVD,LPCVD,ALD


特點(diǎn):

IPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域提供優(yōu)良的性能,適用于嚴(yán)苛制程。

它優(yōu)良的性能原自于轉(zhuǎn)子排氣路徑和優(yōu)越的轉(zhuǎn)子型線設(shè)計(jì)。


漢鐘獨(dú)特型線設(shè)計(jì),上海,臺(tái)灣,制造。

較之前的版本節(jié)能25%,配置有省電模式。

帶有加熱系統(tǒng)避免制程物沉積。

優(yōu)化的尺寸,即插即用。


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